导读 大家好,热载流子效应,关于热载流子效应的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 热载流子就是具有高能量的载流子,即其动
大家好,热载流子效应,关于热载流子效应的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 热载流子就是具有高能量的载流子,即其动能高于平均热运动能量(~kT)的载流子;因此其运动速度也一定很高。
2、 热载流子诱生的MOS器件退化是由于高能量的电子和空穴注入栅氧化层引起的,注入的过程中会产生界面态和氧化层陷落电荷,造成氧化层的损伤。随着损伤程度的增加,器件的电流电压特性就会发生改变。当器件参数改变超过一定限度后,器件就会失效,器件损伤的程度和机理取决于器件的工作条件。
3、 当载流子从外界获得了很大能量时,即可成为热载流子。例如在强电场作用下,载流子沿着电场方向不断漂移,不断加速,即可获得很大的动能,从而可成为热载流子。
4、 对于半导体器件,当器件的特征尺寸很小时,即使在不很高的电压下,也可产生很强的电场,从而易于导致出现热载流子。因此,在小尺寸器件以及大规模集成电路中,容易出现热载流子。由于热载流子所造成的一些影响,就称为热载流子效应。
5、 对于高K栅极的NMOS器件,正偏压温度不稳定性和热载流子注入都会导致Vth的偏移。
本文关于热载流子效应的简介就讲解完毕,希望对大家有所帮助。
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